多功能真空實驗儀

實驗儀是一個真空實驗平台，能夠很直觀反映真空獲得的過程。由真空獲得部分、真空鍍膜機構和電控及儀表等部分組成，結構合理，運行，適合於對學生開展真空實驗教學。
1、真空的獲得與測量；
2、蒸發法薄膜製備；
主要特點：
1 設備的真空反應室、油擴散泵、真空管路部件透明；
2 電氣控製有*護，*止誤操作對操作人員和設備造成的損傷；
3 管路采用不鏽鋼、真空橡膠管結合，閥門為電控雙向截止閥，真空室內有烘烤除氣設備；
4 一機多用的功能，針對高校開展綜合性、設計性和開放性實驗的要求，預留有大空間的真空室，在配置一些組件後，就能方便開設其他擴展實驗項目。
主要參數：
1、φ230mm×255mm硬質玻璃真空室；
2、采用機械泵、四玻璃質油擴散泵兩真空係統，擴散泵油量125～140ml，帶水冷；
3、真空度：開機60分鍾後可達6×10-3Pa，限真空度：9.6×10-4Pa；恢複真空時間＜40分鍾；
4、采用一對*氧銅電蒸發電，電間距70mm，可選用鎢絲或鉬舟作蒸發源，蒸發電流調節範圍：0~150A；
5、襯底可加熱。襯底加熱溫度範圍：室溫~200℃；
6、工作電壓：AC220V±5%，50Hz，整機功率3.5KW；
7、工作環境要求：溫度低於30℃，濕度≤70%；冷卻水溫度22℃±3℃，水循環用戶自備。

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